楚微半導(dǎo)體
2024-08-06
技術(shù)方案：
PCDA線需要高品質(zhì)壓縮空氣：壓力露點(diǎn)-70℃，出口含塵量 ISO 8573-1 1級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，含油0.01mg/m3以下。
后處理配置方案：冷卻器+粗效過(guò)濾器+鼓風(fēng)熱零氣耗干燥機(jī)+粗校過(guò)濾器+精密過(guò)濾器。冷卻器應(yīng)用11℃冷凍水與壓縮空氣換熱，將壓縮空氣溫度降低至25℃以下，在經(jīng)過(guò)粗效過(guò)濾器進(jìn)入鼓風(fēng)熱干燥機(jī)，將空氣水分去除，以達(dá)到-70℃的壓力露點(diǎn)。后經(jīng)一級(jí)粗效一級(jí)精密過(guò)濾器后，達(dá)到含塵1級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，含油0.01mg/m3。
效果：
壓力露點(diǎn)穩(wěn)定運(yùn)行于-70℃以下（最低至-95℃），含油量穩(wěn)定運(yùn)行與0.001mg/m3，含塵量滿足ISO 8673-1 1級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。
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